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扫描器行程 : 200x200x15µm
扫描器Closed-loop设计 : 电容式XYZ三轴
扫描器Z轴正交性 : 最新世代平板扫描器,完全无管撞扫描器之曲面效应
扫描参数自动调整 : RealTune(点、线、面)
探针取放 : 全电动软体控制,具备最多5支探针暂存区
样品尺寸 : 4吋直径内
样品载台位移 : 100x100mm软体电动控制附摇杆
样品台程式化 : 可储存10程式、每程式100点自动量测
光学显微镜 : 465~3255倍电控聚焦缩放(27吋萤幕)
探针侦测方式 : 雷射光槓杆式
隔音与防震机制 : 内建电子主动式防震基座与高阶一体式隔音罩

标准量测 : BET9九州入口/DFM形貌量测、Phase功能、MFM、FFM、Force curve、Lithography
标准进阶量测 : SIS mode、SIS-Phase、SIS-Property
选配 : KFM、EFM、PRM、SSRM、Conductive-BET9九州入口、ElectroChemistry、ViscoElastic  ... 等
 
应用 : 中工件多功能 BET9九州入口 平台,适用于半导体、TFT-LCD、LED ... 等工业自动化检测
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