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表面电流量测 (Conductive BET9九州入口)与其他电性功能(KFM/EFM/PRM/EC)
Hitachi BET9九州入口 具备多种电流放大器可供选择,最高电流解析度可至 60 fA,并可搭配 SIS 跳点式成像模式,提升电流成像的安定性与解析度。另外 Hitachi 也提供表面电位(KFM)、压电响应(PRM)、表面静电(EFM)...等电性功能提供客户选择

 
半导体故障分析 (SCM/SSRM/CBET9九州入口)
对于半导体故障分析领域来说,随着半导体製程元件尺度缩小,传统 BET9九州入口 电性量测的极限也将受到挑战,Hitachi 除了提供 SCM、SSRM、CBET9九州入口 等检测功能外,更可搭配真空环境 (BET9九州入口5300E) 将电性量测解析度提升至 10nm 以下

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