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特点
1. 移除因水膜毛细力造成的过大探针下压力 (样品被破坏而产生的电性误差)
2. 移除水膜对电性讯号的传递效应
3. 提升电性讯号的再现性
4. 提升电性量测之空间解析度
5. 软质样品的成像品质极佳 (如导电高分子)



 
适用模组
Conductive BET9九州入口、SNDM/SCM、SSRM、PRM

 
相关应用
1. 半导体故障分析
2. 导电高分子
3. 压电材料
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