BET9九州入口_BET9九州平台体育APP电器

扫描器行程 : 90x90x6µm、90x90x15µm(选配)
扫描器Closed-loop设计 : 电阻式XYZ三轴
扫描器Z轴正交性 : Accurate Scanner 独家四分割设计
扫描参数自动调整 : RealTune(点、线、面)
探针取放 : 全电动软体控制,具备最多5支探针暂存区
样品尺寸 : 8吋直径内
样品载台位移 : 150x150mm软体电动控制附摇杆
样品台程式化 : 可储存10程式、每程式100点自动量测
光学显微镜 : 285~1100倍电控聚焦缩放,并具双CCD观察视野
探针侦测方式 : 雷射光槓杆式
隔音与防震机制 : 内建式花岗岩气浮式防震基座与高阶一体式隔音罩
 
标准量测 : BET9九州入口/DFM形貌量测、Phase功能、MFM、FFM、Force curve、Lithography
标准进阶量测 : SIS mode、SIS-Phase
粗糙度评价程序 : JISR1683导入
选配 : KFM、EFM、PRM、SSRM、Conductive-BET9九州入口、ElectroChemistry、ViscoElastic  ... 等

 
应用 : 大工件多功能 BET9九州入口 平台,适用于半导体、TFT-LCD、LED、Microlens ... 等工业自动化检测
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