BET9九州入口_BET9九州平台体育APP电器

扫描器行程 : 20x20x1.5µm、100x100x15µm(选配)、150x150x5µm(选配)、15x15µm CL(选配)
扫描参数自动调整 : RealTune(点、线、面)
腔体开阖 : 双旋钮式启闭
样品尺寸 : 25mm直径
光学显微镜 : 200倍整合式、200~1500倍缩放式(选配)、200~2800倍金像显微镜(选配)
探针侦测方式 : 雷射光槓杆式
隔音与防震机制 : 一体成型不锈钢腔体附气浮式防震桌
真空性能 : 搭载转子机械泵与涡流分子马达可至10-6 torr 高真空等级(选配)
温度控制 : -120至300度C连续控温(选配)、RT至800度连续控温(选配)
环境气氛控制 : 气氛控制(需选配真空)、湿度控制(选配)
与SEM连动配备 : SEM/BET9九州入口连动载台(选配)

 
标准量测 : BET9九州入口/DFM形貌量测、Phase功能、MFM、FFM、Force curve、Lithography
标准进阶量测 : SIS mode、SIS-Phase
探针Q控制 : Active Q
粗糙度评价程序 : JISR1683导入
选配 : KFM、EFM、PRM、SSRM、SCM、Conductive-BET9九州入口、ElectroChemistry、ViscoElastic  ... 等


 
应用 :
1. 半导体电性故障分析(真空SCM、SSRM、CBET9九州入口)
2. 导电高分子电性与物性分析
3. 表面最佳成像温度(机械性质差异)
4. 温度依存性的材料试验(高分子、塑橡胶)
5. 特定气氛下之表面特性
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