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2018-05-01

Hitachi 发表白光干涉 3D 轮廓显微镜 VS1000 系列

走査型白色干渉顕微镜「VS1000シリーズ」(4机种)は、微小粗さ、形状および膜厚の三次元测定を非接触・非破壊で行うことができる表面観察装置である。光干渉方式の採用により広い観察范囲(最大7.1 mm×5.3 mm)でも高いZ分解能(0.01 nm)を有し、三次元(面+高さ)の微小な粗さおよび形状を数秒~ 10秒程度で非接触に计测することが可能である。また、透明多层构造フィルムの膜厚测定が可能で、层の界面や内部にある异物、はがれなどの情报も确认できるという特长を持つ。







 
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